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Parylene Coating

HIER ERHALTEN SIE EINEN ÜBERBLICK ÜBER UNSERE MASCHINEN / BESCHICHTUNGSANLAGEN
BESCHICHTUNGSANLAGEN AUS ROSENHEIM – PARYLENE COATING SYSTEME

Auf dieser Seite stellt unser Unternehmen aus Rosenheim Ihnen unsere Maschinen / Beschichtungsanlagen vor. Auch hier gilt selbstverständlich das Angebot der individuellen Beratung inklusive der Beantwortung Ihrer Fragen. Wir freuen uns auf Ihren Anruf unter +49 8031 - 7 97 72 - 0 (Rosenheim).

Labcoater Serie 100

  • Erhältlich in verschiedenen Größen
  • Preiswerte Maschinen mit auswechselbarer Kammer
  • Maße: L: 850mm B: 900mm H: 1600mm
  • Gewicht: 80 KG
  • Volumen: 30 Liter
  • Kammer: 300mm Ø H: 300mm
  • Kühlung: 4 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 25 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 10m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
Labcoater für Parylene-Beschichtungen der Serie 200 und 300

Labcoater der Serie 200 für Parylene-Beschichtungen 

 

  • Labcoater für Labor und Produktion
  • Insbesondere geeignet für kleinere Produktionen und Laborbetrieb
  • Durch zusätzliche Optionen ist die Anlage sehr flexibel und mit einem Kammervolumen ab 35 l erhältlich. Die Serie 200 ist standardmäßig ohne Plasma ausgerüstet, optional jedoch erweiterbar bei Bedarf

 

  • Maße: L: 850mm B: 900mm H: 1600mm
  • Gewicht: 80 KG
  • Volumen: 25-35 Liter
  • Kammer: 300mm Ø H: 300mm
  • Kühlung: 4 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 25 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 10m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
  • mit oder ohne Plasma verfügbar
Labcoater Serie 300

Labcoater der Serie 200/300 für Parylenebeschichtungen

  • Labcoater für Labor und Produktion
  • Insbesondere geeignet für kleinere Produktionen und Laborbetrieb
  • Durch zusätzliche Optionen ist die Anlage sehr flexibel und mit einem Kammervolumen ab 25 l erhältlich. Die Serie 200 ist standardmäßig ohne Plasma ausgerüstet, optional jedoch erweiterbar bei Bedarf
  • Beinhaltet standardmäßig eine Plasmaquelle 
  • Auch als Reinraum-Maschine erhältlich
  • Auswahl zwischen 3 verschiedenen Volumen
  • Maße: L: 1220mm B: 1050mm H: 1920mm
  • Gewicht: 110 KG
  • Volumen: 25 / 35 / 80 Liter
  • Kammer: 300mm Ø H: 300mm (25 Liter), 300mm Ø / H: 350mm  (35 Liter), 450mm Ø                         H: 500mm (80) Liter
  • Plasmaquelle: 2,45GHz, 600 Watt
  • Inklusve 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
  • Kühlung: 4 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 40 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 50m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
  • mit oder ohne Plasma verfügbar
Parylene  Beschichtungs System der Serie 3000

Parylene Beschichtungs System der Serie 3000 Standard

Standard Produktionstool der Serie 2000 ( ohne Plasma ) Serie 3000 mit Plasma Unterstützung.

  • Modulweiser Aufbau und variable Kammergrößen zeichnen diese bereits mehrfach erprobte Produktion- und Beschichtungsanlage aus
  • Konzipiert für den Einsatz unter industriellen Bedingungen
  • Wird großen und anspruchsvollen Produktionsmengen durch größere Kammern gerecht

  • Maße: L: 2095mm B: 800 H: 1450mm
  • Gewicht: ~ 300 KG
  • Volumen: 140 / 200 / 300 Liter
  • Kammer: 500mm Ø H: 700mm (140 Liter), 600mm Ø / H: 700mm  (200 Liter), 700mm Ø                         H: 800mm (300 Liter)
  • Plasmaquelle: 2,45GHz, 1200 Watt
  • Inklusve 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
  • Kühlung: 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 40 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 75m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW

Serie 3000 LV 600/700

  • Maße: L: 2400mm B: 960 H: 1460mm
  • Gewicht: ~ 350 KG
  • Volumen:  600 / 700 Liter
  • Kammer: 800mm Ø H: 1100mm (600 Liter) / 1300mm (700 Liter)
  • Plasmaquelle: 2,45GHz, 1200 Watt
  • Inklusve 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
  • Kühlung: 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 75m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW

Serie 3000 LV 800/1000

  • Maße: L: 2600mm B: 960 H: 1460mm
  • Gewicht: ~ 450 KG
  • Volumen:  800 / 1000 Liter
  • Kammer: 1150mm Ø H: 600mm (800 Liter), 1000mm Ø H:1100
  • Plasmaquelle: 2,45GHz, 1200 Watt
  • Inklusve 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
  • Kühlung: 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 75m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
Serie 3000 RR

Serie 3000 RR

  • Entwickelt für Anwendungen, die in Reinräumen durchgeführt werden müssen
  • Modulweiser Aufbau und flexible Kammergrößen zeichnen diese Anlage aus
  • Zahlreiche Optionen wie Drehteller und unterschiedliche Warenträger wissen bereits viele Kunden zu schätzen
  • Beladung der Prozesskammer erfolgt vom Reinraum aus
  • Entladung durch die Schleusentüre im Grauraum
                                           Parylene Beschichtungs System der Serie 3000 RR
  • Maße: L: 2095mm B: 800 H: 1450mm
  • Gewicht: ~ 300 KG
  • Volumen: 140 / 200 / 300 Liter
  • Kammer: 500mm Ø H: 700mm (140 Liter), 600mm Ø / H: 700mm  (200 Liter), 700mm Ø                         H: 800mm (300 Liter)
  • Plasmaquelle: 2,45GHz, 1200 Watt
  • Inklusve 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
  • Kühlung: 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 40 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 75m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
Parylene Beschichtungs System Serie 2000 mit Drehtrommel

Serie 2000 mit Drehtrommel

  • Parylene Beschichtungssystem Serie 2000 mit Drehtrommel
  • Drehtrommel-System zur Parylenen Beschichtung
  • Kompakte Beschichtungsanlage mit integrierter Kühlfalle und Pumpe
  • Ideal für kleinere Substrate
Parylene Beschichtungs System Serie 2000 mit Drehtrommel
  • Maße: L: 2600mm B: 960 H: 1460mm
  • Gewicht: ~ 200 KG
  • Volumen:  80 Liter
  • Kammer: 400mm Ø H: 600mm 
  • Inklusve 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
  • Kühlung: 4 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 40 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 50m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
Parylene-Clustertool

Parylene Sandwich-Beschichtungssystem

  • Maße: L: 2000mm B: 1800mm H: 2000mm
  • Gewicht: ~ 320 KG
  • Volumen: 30 Liter pro Kammer
  • Luftschleuse: 50 Liter
  • 3 Kammern: VA, L: 300 B: 300 H: 300
  • Mikrowellenausgang / MHz : 2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt
  • Inklusive 3x3 Gaskanäle (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer)
  • Luftschleusenrobotik, Beispielshalterung für die Luftschleuse
  • Vakuumverbindung: DN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • 3 Pumpensysteme: 40m³/h
  • Kammertür: Wartungskammertüren
Drehtrommelanlage 1000l

2000 Serie mit Drehtrommel (1000l)

  • Maße: L: 2100mm B: 960 H: 1460mm
  • Gewicht: ~ 300 KG
  • Volumen:  1000 Liter
  • Kammer: 900mm Ø L: 1000mm
  • Kühlung: 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
  • Vakuumverbindung: DIN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 75m³/h
  • Elektronische Verbindung: 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW

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