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Parylene Coating

PLASMA PARYLENE SYSTEMS GMBH
DER BESCHICHTUNGS­PROZESS

Der Parylene Beschichtungprozess ist einzigartig in der Beschichtungstechnik. Die Abscheidungstechnik von Polymeren erfolgt auf molekularer Ebene und besteht aus drei grundlegenden Schritten.

Der erste Schritt ist das Verdampfen des festen Dimer. Dieser wird im Vakuum auf 160 ° C erhitzt und in Gas umgewandelt.

Das Gas wird dann pyrolysiert (thermo-chemische Spaltung organischer Verbindungen) um das Dimer in seine monomere Form zu spalten.

Das monomere Gas wird in der Abscheidungskammer unter Raumtemperaturen als transparenter Polymerfilm abgeschieden.

Die gewünschte Beschichtung kann je nach Anwendungen variieren und von 0,2 bis zu 100 µm pro Run betragen.