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ALPHA PLASMA
PLASMA REINIGUNG & AKTIVIERUNG

Reinigen mit Plasma

Bei der Reinigung von Oberflächen mittels Plasma geht es um die Entfernung geringer Reste von organischen Substanzen. Dieser Reinigung geht in der Regel ein anderes Verfahren zur Grobreinigung voraus.

Die sterile Feinstreinigung mittels Plasma wird erreicht, in dem die zu reinigenden Teile einem Sauerstoffplasma ausgesetzt werden, wobei sich die zu entfernende organische Verunreinigung mit dem Sauerstoff verbindet und als gasförmiges Produkt durch die Vakuumpumpe abgesaugt wird. Je nach Verschmutzung oder Eigenschaften des zu reinigenden Substrates kommen aber auch andere Prozessgase wie Wasserstoff oder Edelgase zum Einsatz.

Aktivieren mit Plasma

Im Falle der Aktivierung wird die polymere Oberfläche einem Plasma ausgesetzt. Zur Anwendung kommen inerte Gase ( Edelgase) oder Gase aus Molekülen, die keine zur Kettenbildung befähigten Atome enthalten, wie z.B. N , O oder NH.

In jedem Falle werden jedoch in der Oberfläche durch die im Plasma erzeugten Elektronen, Ionen und energiereiche Strahlung Bindungen gebrochen und reaktive Bereiche erzeugt. Die so entstandenen Radikale können daraufhin miteinander reagieren und eine zusätzliche Vernetzung in der Oberfläche zur Folge haben.

Durch die dadurch entstehende höher vernetzte Oberfläche ergibt sich somit eine aktivierte Oberfläche. Bei Gasen, die keine Edelgase sind, wie z.B. N oder O , können die in ihnen enthaltenen Atome zusätzlich in die Oberfläche mit eingebaut werden und somit eine Veränderung der Oberflächeneigenschaft durch neue funktionelle Gruppen bewirken.