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Alpha Plasma

PROFITIEREN AUCH SIE VON UNSERER ERFAHRUNG UND UNSEREM FACHLICHEN KNOW-HOW
PLASMA MASCHINENBAU / ANLAGENBAU AUS ROSENHEIM

Wir sind Ihr Ansprechpartner in Deutschland (Rosenheim) im Bereich Maschinenbau / Anlagenbau für Beschichtungsanlagen und Plasma Anlagen ganz nach Ihren Bedürfnissen und Wünschen. Dabei werden bei uns alle Anlagen am Standort in Rosenheim gefertigt. Unser jahrelanges Know-how aus der Beschichtungsdienstleistung und der Umgang mit dem Thema Plasmaparallelbeschichtung fließen in die Entwicklung und Fertigung neuer Systeme mit ein.

Made in Germany – Maschinenbau / Anlagenbau / Spezialmaschinenbau

Lassen Sie sich von unseren Experten aus Rosenheim beraten. Schon oft konnten wir Maschinen und Anlagen nach Maß fertigen, von denen unsere Kunden dachten, dass sie nicht realisierbar sind.

Plasma Anlagen der Serie AL

Plasma Anlagen der Serie AL

Plasma Anlagen der Serie AL

AL steht für Aluminiumkammer. Sie findet ihren Einsatz vorwiegend in der Halbleitertechnik, Solar-, Kunststoff- und Elektronikindustrie

Zur Aktivierung von Kunststoffoberflächen oder zur Erzeugung von hochreinen Oberflächen

Anwendungsbeispiele: Vorbehandlung von Metall- und Kunststoffteilen vor dem Bonden, Bekleben, Lackieren oder Bedrucken, Feinstreinigung von Gläsern, Metallen, Keramiken oder sonstigen vakuumtauglichen Substraten

AL 18 Tabletop

AL 18 Tabletop Unit

  • Maße: L: 530mm B: 600mm H: 550mm
  • Gewicht: 40 KG
  • Volumen: 18 Liter
  • Kammer: Aluminium, L: 250mm B: 290mm H:250mm
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 25 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 15-35 m³/h
  • Kammertür: Schwenktür mit Fenster

AL 18 (19 inch Rack)

  • Maße: L: 530mm B: 600mm H: 1800mm
  • Gewicht: 95 KG
  • Volumen: 18 Liter
  • Kammer: Aluminium, L: 250mm B: 290mm H:250mm
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 25 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: 15-35 m³/h
  • Kammertür: Schwenktür mit Fenster
AL 76 Tabletop Unit

AL 76 Tabletop Unit

  • Maße: L: 770mm B: 780mm H: 780mm
  • Gewicht: 80 KG
  • Volumen: 76 Liter
  • Kammer: Aluminium, L: 400mm B: 480mm H: 400mm
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 40 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 250m³/h
  • Kammertür: Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster, Schiebetür oder Universaltür
AL 76 Compact Version

AL 100 Compact

  • Maße: L: 1050mm B: 800mm H: 2020mm
  • Gewicht: 95 KG
  • Volumen: 76/100 Liter
  • Kammer: Aluminium, L: 400mm B: 480mm H: 520mm
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 250m³/h (integriert)
  • Kammertür: Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster, Schiebetür oder Universaltür

AL 140/160/300

  • Maße: L: 1200mm B: 900mm H: 1800mm
  • Gewicht: 250 KG
  • Volumen: modifizierbar von 140-300 Liter
  • Kammer: Aluminium, angepasste Maße
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 250m³/h
  • Kammertür: Auswahl zwischen Schwenktür oder Schiebetür 

AL 800 Compact 

  • Maße: L: 1200mm B: 900mm H: 1800mm
  • Gewicht: 300 KG
  • Volumen: 800 Liter
  • Kammer: Aluminium, L: 900 B: 920 H: 900
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 250m³/h
  • Kammertür: Schwenktür mit Fenster
Plasma Anlagen der Serie Q

Plasma Anlagen der Serie Q

The Q stands for quartz glass chamber.

Plasma Anlagen der Serie Q finden ihren Einsatz vorwiegend in der Halbleitertechnik und im Bereich der Analytik und Medizintechnik

Anwendungsbeispiele: Reinigen und Veraschen von organischen Proben und Lacken in der Mikromechanik sowie für Silizium Wafer in der Halbleiterindustrie

Plasma System Q150 (TT)

Q150 (Tabletop Unit)

  • Maße: L: 500mm B: 550mm H: 370mm
  • Gewicht: 40 KG
  • Volumen: 6 Liter
  • Kammer: Quarzglas, 145mm Ø, B: 260mm
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 25 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 25m³/h
  • Kammertür: Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten
  • Wafergröße: bis zu125mm, bei einer anzahl von bis zu 25 Wafern
Q235 Alpha Plasma System

Q 235 

  • Maße: L: 620mm B: 550mm H: 500mm
  • Gewicht: 75 KG
  • Volumen: 11 Liter
  • Kammer: Quarzglas, 230mm Ø , B: 260mm
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 40 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 25m³/h
  • Kammertür: Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten
  • Wafergröße: bis zu 150mm, bei einer Anzahl von bis zu 25 Wafern möglich
Q 240

Q 240 

  • Maße: L: 760mm B: 775mm H: 775mm
  • Gewicht: 100 KG
  • Volumen: 21 Liter
  • Kammer: Quarzglas, 240mm Ø, B: 440mm
  • Mikrowellenausgang: 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 40 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 40m³/h
  • Kammertür: Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten
  • Wafergröße: bis zu 200mm, bei einer anzahl von bis zu 50 Wafern

Modifizierte Maschinen

Plasma Desmearing System AL 250

Desmearing System AL 250

  • Maße: L: 550mm B: 1900mm H: 900mm
  • Gewicht: 180 KG
  • Volumen: 250 Liter
  • Kammer: Aluminium mit Leiterplattenhalterung
    • Leiterplattenhalterung : L: 400mm B: 650mm H: 800mm
    • Leiterplatten: bis zu 4/5 Platten mit 18x24" oder 20x24" 
  • LF-Ausgang (Low Frequency): Betriebsfrequenz = 40 KHz, bis zu 2000 Watt
  • Inklusive 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 6 Gaskanäle sind möglich)
  • Substrathalterung (optional): Aluminium, angepasstes Design möglich
  • Vakuumverbindung: DN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • Pumpensystem: bis zu 250m³/h
  • Kammertür: Schwenktür mit Fenster

Plasma Reinigungs- und Polymerisationstool (Cluster System)

  • Maße: L: 2000mm B: 1800mm H: 2000mm
  • Gewicht: ~ 320 KG
  • Volumen: 30 Liter pro Kammer
  • Luftschleuse: 50 Liter
  • 3 Kammern: Aluminium, L: 300 B: 300 H: 300
  • Mikrowellenausgang / MHz : 2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt
  • Inklusive 3x3 Gaskanäle (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer)
  • Luftschleusenrobotik, Beispielshalterung für die Luftschleuse
  • Vakuumverbindung: DN 63 ISO-KF
  • Belüftung: elektromagnetisches Ventil
  • 3 Pumpensysteme: 40m³/h
  • Kammertür: Wartungskammertüren

Ihre Fragen zum Maschinenbau / Anlagenbau sind bei uns in Rosenheim goldrichtig. Rufen Sie uns einfach an. Wir haben auch für Ihre hohen Ansprüche die richtige Lösung.