Reinigen mit Plasma
Bei der Reinigung von Oberflächen mittels Plasma geht es um die Entfernung
geringer Reste von organischen Substanzen. Dieser Reinigung geht in der Regel ein anderes Verfahren zur Grobreinigung voraus.
Die sterile Feinstreinigung mittels Plasma wird erreicht, in dem die zu reinigenden Teile einem Sauerstoffplasma ausgesetzt werden, wobei sich die zu entfernende organische Verunreinigung mit dem Sauerstoff verbindet und als gasförmiges Produkt durch die Vakuumpumpe abgesaugt wird. Je nach Verschmutzung oder Eigenschaften des zu reinigenden Substrates kommen aber auch andere Prozessgase wie Wasserstoff oder Edelgase zum Einsatz.
Plasma System Serie AL
